製品紹介
Cryster series 800 (Oxide)
Oxide TFT工程装置は、大型ディスプレイ製造工程においてBackplane基板製造のための熱処理工程に特化された装置です。
- #Oxide
Cryster series 600 (PI curing)
PI curing工程装置は、Flexible display製造工程においてフレキシブルな基板を実装させるためのPolyimide(PI) curing用の熱処理工程に特化された装置です。
- #PI curing
Cryster series 600
LTPSの工程装置は、AMOLED Rigid/Flexible用ディスプレイ製造工程においてContact anneal、De-hydrogenation、Hydrogenation、Activationなどの高温熱処理工程に特化された装置です。
- #Contact anneal
- #De-hydrogenation
- #Hydrogenation
- #Activation
PECVD
PECVD is used to prevent moisture penetration of fiexible OLED devices. IPS PECVD has deposited SiNx thin films with optimized optical transmittance and stress for flexible OLEDs and has excellent self-cleaning performance, which can lower the production
- #SiNx depostion
- #SiON depostion
- #SiO2 depositon