㈜아토 ㈜아이피에스 법인 합병

[(주)아이피에스] 제2회 반도체의 날' 국무총리상 수상

[㈜ATTO] 대표이사 부회장 이문용 취임

[㈜ATTO] MAHA-MP 장비 양산

[(주)아이피에스] ㈜아이피에스 연 매출 1,000억원 달성

[㈜ATTO] PE-CVD 매출 1000억 달성

[㈜ATTO] 경기도 일자리 우수 기업 선정

[(주)아이피에스] ㈜아이피에스 CB발행(220억) 삼성전자 인수

[(주)아이피에스] 300mm New Metal 장비 (AKRA) 양산

[(주)아이피에스] LED 제조용 MO-CVD 장비 Hardware 개발

[㈜ATTO] PE-CVD장비 100호기 출하

[㈜ATTO] 산업안전보건의 날 산재 예방 유공자 대통령 산업 포장 수상

[(주)아이피에스] 에코연구소 설립

[(주)아이피에스] Solar Cell PECVD 장비 양산

[㈜ATTO] 중국사업부문(Fab & Solution) 물적분할

[(주)아이피에스] 300mm Revolver 장비양산

[(주)아이피에스] Solar Cell LPCVD 장비양산

[㈜ATTO] MAHA-SP 장비 양산

[(주)아이피에스] 고생산성 반도체장비 양산(BLUETAIN & REVOLVER)

[㈜ATTO] 벤처기업 1000억 클럽 가입

[(주)아이피에스] 신임대표이사 문상영 취임

[(주)아이피에스] LCD 8G Dry Etcher 양산

[㈜ATTO] 특수가스사업부문 물적분할(원익머트리얼즈 설립)

[㈜ATTO] 제39회 산재예방유공 국무총리 표창

[(주)아이피에스] 제15회 다산기술상 중소기업부문 수상

[(주)아이피에스] 제2회 대한민국코스닥대상 최우수테크노경영상 수상

[(주)아이피에스] LCD 장비 출시

[(주)아이피에스] RACVD 및 Blue Tain 등 관련 특허권 양수 (15건)

[(주)아이피에스] 제42회 무역의 날 천만불 수출탑 수상

[㈜ATTO] 제2회 대ㆍ중소기업 협력대상 동탑산업훈장 수상

[(주)아이피에스] 코스닥시장(KOSDAQ) 상장

[㈜ATTO] 2005.10 최대주주변경 : ㈜ IPS

[(주)아이피에스] LCD/SOLAR 포승공장 신축

[(주)아이피에스] 국내 최초 양산용 Metal ALD/CVD 300mm 양산

[(주)아이피에스] 국내 최초 양산용 Metal ALD/CVD 200mm 양산

[㈜ATTO] 제1회 대ㆍ중소기업 협력대상 중소기업청장(신기술부문)표창

[(주)아이피에스] 한국반도체 기술개발 경진대회 대상 수상, 과학기술 유공자 단체부문 연구소 분야 국무총리상 수상

[(주)아이피에스] 미국 법인 설립

[(주)아이피에스] Solar Cell 장비 일본 수출

[(주)아이피에스] 경기도 수출 유공자 표창 수상

[(주)아이피에스] 신임대표이사 장호승 취임

[㈜ATTO] 나노산업연구조합 가입

[㈜ATTO] 오창 특수가스공장 준공

[㈜ATTO] PE-CVD 진출

[㈜ATTO] 충북 오창과학산업단지 특수가스 공장 준공

[(주)아이피에스] 경기도 유망중소기업 선정

[㈜ATTO] 신임대표이사 문상영 취임