연혁

반도체 장비 국산화의 시작에
원익아이피에스가 있습니다.
세계 속의 반도체 장비 기업으로
거듭나겠습니다.”

2000
11

[㈜ATTO] 시화공단 신축 공장 준공 및 이전

1998
06

[(주)아이피에스] 세계최초 양산용 200mm ALD 공정 장비 양산

1997
11

[㈜ATTO] 중소기업 벤처기업 통상산업부 장관상 수상

08

[(주)아이피에스] 부설연구소 설립

03

[㈜ATTO] 조세의 날 국세청장상 수상

1996
09

[㈜ATTO] 코스닥시장(KOSDAQ) 등록

07

[(주)아이피에스] ALD 200mm 및 Dry Etch 200mm 장비 공동개발 계약

06

[㈜ATTO] 주식회사 아토 상호변경

1995
07

[㈜ATTO] 제14회 벤처기업 대상 수상

07

[㈜ATTO] 백만불 수출의 탑 수상

1994
07

[㈜ATTO] 부설연구소 설립

1993
03

[(주)아이피에스] 舊 청송시스템㈜ 설립

1991
09

[㈜ATTO] 舊 한국엔지니어링 설립

01

[(주)아이피에스] ㈜아이피에스로 상호 변경