태양 전지를 제조하는 주요 공정중의 하나로, 플라즈마를 이용한 표면 텍스쳐링 공정 설비로서, 태양광의 반사율을 최소화하기 위해 표면을 거칠게 하여 표면적을 넓히는 공정으로 진공 챔버 내에 중밀도의 플라즈마를 발생시켜 태양전지 표면을 가공하는 설비
 
결정질 실리콘의 표면 텍스쳐링 양산공정/연구용 설비
습식 식각 공정의 대체설비로 적합
 
이온반응 건식 식각공정
습식 식각 대비 태양전지 변환 효율 향상 효과
Stand alone or Cluster 방식적용에 따른 생산성 및 확장성 개선
다량의 Cell 공급 및 취출 가능
투자 수익률 극대화 및 투자금 회수 시점 단축
Mini-Environment 적용에 따른 습도 제어 가능
일괄 처리 방식을 통한 대량 생산 가능
제품의 자동 물류 시스템 구현에 적합