Product
Cryster series 800 (Oxide)
Oxide TFT 공정장비는 대형 display 제조 공정 중에서 Backplane 기판 제조를 위한 열처리 공정에 특화된 장비입니다.
- #Oxide
Cryster series 600 (PI curing)
PI curing 공정장비는 Flexible display 제조 공정 중에서 Flexible한 기판 구현을 위해 Polyimide(PI) curing 을 위한 열처리 공정에 특화된 장비입니다.
- #PI curing
Cryster series 600
LTPS 공정장비는 AMOLED Rigid/Flexible 用 display 제조 공정중에서 Contact anneal, De-hydrogenation, Hydrogenation, Activation 등의 고온 열처리 공정에 특화된 장비입니다.
- #Contact anneal
- #De-hydrogenation
- #Hydrogenation
- #Activation
PECVD
IPS PECVD는 얇은 SiNx 박막을 증착 시키며 이는 플렉시블 OLED에 필요한 최적화된 광확 투과율과 박막 스트레스를 가지고 있으며 뛰어난 자체 세정 성능으로 고객사의 제작 비용을 절감할 수 있습니다
- #SiNx depostion
- #SiON depostion
- #SiO2 depositon