List
Cryster series 600
Process
Contact anneal
De-hydrogenation
Hydrogenation
Activation
Applications
AMOLED Rigid/Flexible用
LTPS TFT Backplane (Mobile)
Introduction.
LTPS 공정장비는 AMOLED Rigid/Flexible 用 display 제조 공정중에서 Contact anneal, De-hydrogenation, Hydrogenation, Activation 등의 고온 열처리 공정에 특화된 장비입니다.
Technology.
이 장비는 저온에서 고온까지의 wide range 온도 대역을 구현하여 고객의 요구 공정 조건을 최적화 가능하며, IPS만의 독창적인 오염제어 및 정밀한 온도제어 가능하며, 고생산성을 위하여 fast ramp up/down 기능을 적용 실현하고 있습니다
Features.
1. Glass size : ~ 8G 2. Max. temperature ~ 500℃ 3. 매우 높은 온도 균일도를 제어할 수 있는 특수제작된 Front door 4. 최소의 O2 농도를 유지 및 제어 가능한 기술 5. Maint 가 매우 쉬운 Full open 방식의 Rear door 6. 최적의 공정을 위한 균일한 Gas laminar flow 가 가능한 특수 제작된 Gas 주입 시스템 7. 빠른 승온과 빠른 냉각이 가능한 특수기술로 고생산성과 정밀 공정 구현 가능 FRP (Fast Ramping Process) 8. 최적의 align 과 빠른 속도의 cooling 이 가능한 특수제작된 cooling stage
