R&D

원익아이피에스의 도전과 혁신은 현재 진행형입니다.
최고의 품질의 설비 및 서비스를 제공하겠습니다.

반도체 연구소 / 디스플레이 연구소

차세대 공정 및 제품을 중점적으로 발굴하고 개발하는 R&D연구소는 소자업체 및 부품업체와의 공동연구를 활발히 진행하고 있습니다. 자체적으로 Clean room 10 Class의 양산장비에 준하는 연구시설을 보유하고 있으며 신규 공정을 시스템으로 직접 설계하고 나아가 차세대 주력제품군으로 개발하고 있습니다. 아울러, 주력제품 시스템의 문제점을 근본적으로 혁신 시키는 다양한 기계적이고 전자적인 Idea를 구현하고 있습니다.

원익아이피에스의 R&D 연구소에는 공정 테스트와 실시간으로 그 결과를 Monitoring하기 위한 계측기도 10Class의 공간내에 확보하고 있으며 두께 측정, 저항 측정, Particle 측정, Stress 측정 등의 도포된 막에 대한 여러 각도에서 분석할 수 있도록 계측기가 배치되어 운영되고 있으며 고배율로 단면 분석 및 성분 분석에 유용한 FE-SEM 또한 적극 활용되고 있습니다.

R&D연구소 내 설비는 고객에게 납품되는 설비와 H/W와 S/W 측면에서 동일한 성능을 가지는 Mirror Tool 개념을 지향하고 있으며 향후 기술의 Scale Down 추세에 따라, Wafer 상태에서 미세 Particle을 분석할 수 있는 최신의 SEM-Vision을 구비하여 연구활동을 가속화할 것입니다.

  1. 반도체 연구소 반도체 연구소
  2. 디스플레이 연구소 디스플레이 연구소

R&D 역량

  1. R&D 조직 이원화를 통한 개발효과 극대화
    (반도체 연구소 & 디스플레이 연구소)
  2. 연구개발 중심의 인력 구조
    (전체 인력의 50% 이상)
  3. 2019년 12월末 국내외
    특허 출원 482건, 특허 등록 378건

연구실적

  • 출원
  • 등록
  • 국내
  • 해외
  • CVD
  • ALD
  • OLED
  • Etcher
  • Solar
  • 기타

2018

  1. - QUANTA 장비 양산
  2. - Display 장비 중국 수출
  3. - NOA 장비 개발

2017

  1. - QUANTA 장비 개발

2016

  1. - GEMINI 장비 양산

2015

  1. - GEMINI 장비 개발

2014

  1. - MAHA AL(ALD) 장비 양산
  2. - MAHA MLT(MOLD) 장비 양산

2013

  1. - TSP 양산라인 Inline Sputter 출시
  2. - FIC 8G Dry-Etcher 해외 수출
  3. - MAHA MP 장비 해외 첫 출하

2012

  1. - MAHA MP 개발

2011

  1. - MAHA SP 100호기 출하

2010

  1. - MAHA-MP 장비 양산
  2. - 300mm New Metal 장비 (AKRA) 양산

2009

  1. - LED 제조용 MO-CVD 장비 Hardware 개발
  2. - PE-CVD장비 100호기 출하
  3. - 에코연구소 설립
  4. - Solar Cell PECVD 장비 양산

2008

  1. - 300mm Revolver 장비양산
  2. - Solar Cell LPCVD 장비양산
  3. - MAHA-SP 장비 양산

2007

  1. - 고생산성 반도체장비 양산(BLUETAIN & REVOLVER)
  2. - LCD 8G Dry Etcher 양산

2006

  1. - LCD 장비 출시
  2. - RACVD 및 Blue Tain 등 관련 특허권 양수 (15건)

2005

  1. - 국내 최초 양산용 Metal ALD/CVD 300mm 양산
  2. - 국내 최초 양산용 Metal ALD/CVD 200mm 양산

2004

  1. - Solar Cell 장비 일본 수출

2002

  1. - PE-CVD 진출

1998

  1. - 세계최초 양산용 200mm ALD 공정 장비 양산

1996

  1. - ALD 200mm 및 Dry Etch 200mm 장비 공동개발 계약